どうも、おじさんです。真空が「ぜんぜん下がらん…」って時、みんな最初にポンプ疑うんだけど、実は配管(コンダクタンス)がボトルネックって、かなり多いです。
ざっくり言うと、真空の配管って“細くて長い道路”みたいなもんで、いくら強い車(ポンプ)を用意しても、道が渋滞してたら進まないんですよ。
今日は「コンダクタンスって何?」「どこが詰まりやすい?」「現場で何を直せば効く?」を、数式は最小限でまとめます。
コンダクタンスって何?(超ざっくり)
コンダクタンスは、かみ砕くと“気体が流れやすい度”です。配管・バルブ・絞り・フィルタ…全部に「通りやすさ」があって、ここが小さいと排気が遅くなります。
重要なのは、真空では流れ方が圧力域で変わるって点。大気に近いところ(粗引き域)と、高真空域では、同じ配管でも効き方が変わります。
圧力域で変わる“流れ方”のイメージ
- 粗引き寄り:気体が“まとまって”流れる(配管抵抗・ポンプ能力が効きやすい)
- 高真空寄り:分子が“バラバラに飛ぶ”ように動く(配管の形状・口径がめちゃ効く)
結論:遅い原因はだいたい「細い・長い・曲がりすぎ」
1) 配管が細い(これが一番多い)
真空の配管は、口径が小さくなると一気にしんどくなります。特に高真空側は「ちょっと細い」が大ダメージになりがち。
2) 配管が長い(ポンプを遠くに置きすぎ)
「防音で離した」「床下に回した」みたいな事情は分かるんだけど、長いとそれだけ抵抗が増えます。可能ならポンプは近いほど正義です。
3) 曲がりが多い・段差が多い(地味に効く)
- エルボだらけ
- 急な径変換(太い→細い→太い)
- フレキホースを長く使いすぎ
- バルブの有効口径が小さい(見た目より中が狭い)
“あるあるボトルネック”集(研究室も工場も同じ)
- チャンバー出口は大きいのに、途中で細いホースに変わってる
- 高真空バルブは立派なのに、前後に細い継手が入ってる
- ティー配管が多くて、実質迷路になってる
- ゲージ位置が悪くて、実際のチャンバー圧じゃなく配管の圧を見てる
- 粗引きラインにフィルタやトラップを入れたまま、詰まり気味で放置

改善の優先順位(お金をかけずに効く順)
まずは“太く・短く・まっすぐ”に寄せる
- チャンバー直近の配管を太く(ここが一番効くこと多い)
- ポンプを近づける(難しければ配管ルートを短く)
- エルボを減らす/Rの大きい曲げにする(可能な範囲で)
次に“詰まってる部品”を疑う
- フィルタ、ミストトラップ、フォアライントラップ:詰まりで急に遅くなる
- バルブ:内部が汚れて開度が出てないことがある
- フレキ:内面が荒かったり、長いと抵抗が増えやすい
「ポンプ能力を上げる」は最後でいい
ここ、言い方悪いけど…道が細いままポンプだけ強くしても、伸びが少ないことが多いです。まず配管側を整えて、それでも足りなければポンプ選定、が失敗しにくい順番です。
現場でできる“切り分け”小技
1) 圧力の見え方を変える(ゲージ位置が超重要)
- できれば「チャンバー側」と「ポンプ側」で圧力を見比べる
- 差が大きいなら、途中で絞れてる可能性が高い
2) 構成を一時的にシンプルにしてみる
- 不要なティーや長いフレキを一時撤去して、挙動が変わるか見る
- 怪しいフィルタ・トラップを点検(安全上OKな範囲で)
まとめ:排気が遅いなら、まず“道(配管)”を疑う
真空の遅さって、ポンプのせいにされがちなんだけど、実際はコンダクタンスのせいで詰まってることがよくあります。
- 細い・長い・曲がりすぎは、だいたい正直に効く
- チャンバー直近を太く短くするのが、改善の王道
- 詰まり部品(フィルタ/トラップ/バルブ)も“急に遅い”の原因になりやすい
「うちの構成だと、どこがボトルネック?」って場合は、配管径・長さ・バルブ種類・ポンプ構成が分かれば、改善優先度を現実的に整理できます。
“うちでもできる?”と思ったら、まずは聞いてみてください!


































