こんにちは。今回は、既存の真空装置を“いまの要求”に合わせて延命・強化するためのレトロフィットについて、ICF（コンフラット）改造とリーク再検証に絞って、手順と注意点をまとめます。数値条件（トルク・合否値など）は装置や仕様で変わるため、ここでは実務で外しにくい原則だけを丁寧に押さえます。
目次
レトロフィットの狙い：短納期・低コストでの延命と安定
新造よりも早く、コストを抑えながら機能を更新するのがレトロフィット。よくある相談は、Oリング仕様の限界、ポート追加、古いICFの座面劣化、規格不明の独自フランジ対応などです。要は「いまの品質要求に装置を合わせ直す」作業ですね。
改造前の現状把握（ベースラインの確立）
まずは現状を正しく掴むこと。ここを丁寧にやると後工程の迷いが減ります。
- 図面・現物の差分確認（実測寸法・加工痕・補修跡の記録）
- 現在の到達圧・リーク試験結果・締結履歴（いつ誰がどう締めたか）
- 周辺干渉：配管・計測系・シールド・ケーブル取り回し
- 洗浄状態・梱包癖・保管環境（清浄度とアウトガスの起点）
ICF改造の設計要件（規格適合と互換性の維持）
ICFの基本要素
- ナイフエッジ：ガスケットを塑性変形させて密封する要。傷・打痕は致命的。
- メタルガスケット：基本は使い切り前提（再使用しない設計と運用）。
- ボルトパターン：ピッチ円・穴数・開口径は混在させない（規格に合わせる）。
Oリング仕様からICFへ切り替える判断軸
- 要求真空度・温度レンジ・清浄度（微粒子・アウトガス）
- 保全性（分解頻度・再現性）と運用負荷
- 母材との整合：材質・板厚・熱膨張（歪み対策の余地）
図面で明記したいこと
- フランジ規格とボルト仕様（サイズ・本数・潤滑の有無）
- 面粗さ・平面度の要求値（過剰に攻めず、検査方法もセット）
- 仕上げ順序：荒加工 → 溶接 → 応力評価 → 座面仕上げ
ポート追加・位置変更（機能と剛性の両立）
- 開口位置は剛性・干渉・排気効率の3点で決める（最短・少曲げ・十分口径）
- 大開口はリブ・カラーリングで縁剛性を補強
- 既存面の再加工 vs 新規フランジ溶接：歪み・納期・手直し余地で判断
溶接・機械加工の段取り設計
溶接方法と歪み抑制
- 基本はTIG。歪みが厳しければEBW/レーザも選択肢
- 対称溶接・スキップ・バックステップで入熱を分散
- 仮付けは“位置決め”重視。治具とピンでズレを抑える
加工順序と清浄工程
- 荒加工 → 溶接 → 応力評価 → 座面仕上げ（ICFは特に後置き）
- 脱脂・洗浄・乾燥・必要に応じベークを工程として前提化
ICFの取り扱い（破損・再使用の回避）
- ナイフエッジは保護キャップ・専用治具で扱う（打痕・バリ厳禁）
- メタルガスケットは基本使い切り。再使用前提の設計にしない
- 締結は交互・段階トルク。数値はボルトサイズ・潤滑条件で仕様化し記録
リーク再検証の計画（合否は仕様で定義）
試験方式と前提
- 真空法（チャンバー側真空）とスニファ法（加圧側探索）を使い分け
- 背景（バックグラウンド）測定とゼロ点管理を事前に実施
- ヘリウム残留対策：換気・パージ・計測ライン短縮
試験シーケンス（例）
- 外観・座面・締結状態の確認
- 粗チェック（全体リーク有無の確認）
- 局所探索（袋掛け・スポット吹きなどの方法を併用）
- 是正（再仕上げ・追い溶接）→ 洗浄
- 再試験（同条件で合否判定／記録）
※合否基準（漏れ量の単位・値）は装置仕様で明記し、試験成績書に残します。
是正（リワーク）の標準手順
- 座面起因：面直し・再仕上げ（ナイフエッジを損なわない範囲で）
- 継手・溶接部：追い溶接 → 再洗浄 → 再試験
- 部材交換が妥当なケース：劣化が大きい／再現性が出ない場合
書類と引き渡し（トレーサビリティ）
- アズビルト図・改造箇所リスト・材料ミルシート
- 締結記録（ボルトサイズ・手順・ガスケット種）
- リーク試験成績書（方式・装置・条件・結果・試験日）
- 洗浄・ベーク・梱包条件（再現可能性の確保）
安全・運用の注意（現場での事故防止）
- ヘリウム使用時の換気・拡散管理、加圧時の上限値・インターロック
- 溶接ヒューム・高温部・研削粉の取り扱いと保護具
- 立ち上げ時の段階増圧・減圧（急変でシールを壊さない）
さいごに：設計→施工→検証を一連で回す
ICF改造は、設計・加工・溶接・洗浄・リーク再検証までを同じ流れで管理すると手戻りが減ります。数値はむやみに攻めず、検査方法と記録まで含めて“仕様化”するのがコツです。
もし「この装置、ICF化やポート追加は可能？」という段階でしたら、図面PDF・現物写真・現在の到達圧／リーク結果をお送りください。改造案と検証計画（試験方式・記録様式）の叩き台をご用意します。部分対応（座面修正のみ、ポート追加のみ）や段階導入もOKです。
