どうも、おじさんです。クライオポンプ（クライオ）って、ちゃんとハマると強いんだけど、定期的にくるイベントがこれ。
「再生（レジェネ）が長い」
「再生してもベース圧が戻らない」
「再生のたびに立ち上げがつらい」
クライオは“冷やして捕まえる”ポンプなので、捕まえたガス（特に水分）を温めて吐き出して、また冷やすって工程が必要になります。ここを雑にやると、時間も品質も落ちます。
※再生手順はメーカー機種ごとに細かい条件が違うので、最終的には必ず機種の手順書を正にしてください。この記事は、現場で事故りやすいポイントを外さないための“考え方とチェック”です。
そもそも再生（レジェネ）って何をしてる？
ざっくり言うと、再生はこの流れです。
- クライオをチャンバーから隔離（バルブで切る）
- クライオを温めて、捕集したガスを放出させる
- 放出したガスを粗引き系で抜く（ここが重要）
- 乾いたガスで戻したり、必要に応じてパージ
- 再び冷やして、安定させて復帰
ここでの主役は、だいたい水（H₂O）です。水は吸着もするし、装置を開ければどんどん入る。だから再生が長引く。
再生が必要になるサイン（やらないと詰む）
- ポンプダウンが前より遅い（特に途中から粘る）
- ベース圧が下がり切らない／安定が悪い
- プロセスが汚れる、再現性が落ちる（捕集能力が落ちてる可能性）
- メーカー推奨の再生タイミングに達した（ここは素直に守るのが安全）
基本の再生手順（“順番”が大事）
1) まず隔離：チャンバーと切り離す
- クライオ側だけを再生できる構成なら、まずは隔離
- バルブやラインの状態（開閉、リーク）もこのタイミングで確認
2) 温める：捕まえたものを“ちゃんと出す”
- 温度や昇温の仕方は機種手順に従う（急にやりすぎると別トラブルの元）
- 「途中で止める」と、残った水分が次の立ち上げを地獄にする
3) 放出ガスを抜く：粗引き系が弱いと終わらない
ここが詰まりポイントです。再生中はクライオからガスがドバッと出るので、それを逃がせないと再生が終わりません。
- 粗引きポンプ（バックポンプ）の能力・状態は大丈夫？
- フォアラインに詰まり（トラップ/フィルタ/バルブの閉まり不良）はない？
- 排気先が詰まってない？（排気配管の抵抗、排気側フィルタなど）
4) 戻す：できれば乾燥ガス（乾燥N2など）
- 湿った空気で戻すと、せっかく抜いた水をまた入れがち
- 可能なら乾燥N2で戻す（運用ルール化できると強い）
5) 冷やして安定：再起動は“落ち着いてから”
- 冷却は手順どおり（焦ってプロセスを回すと、挙動が安定しないことがある）
- 復帰判定（圧力・時間・アラーム）も手順化しておくと事故が減る
再生が長引く“典型原因”と対策
原因A：そもそも水負荷が多すぎる（装置が湿ってる）
- 開放時間が長い／湿度が高い日に開けた
- 洗浄後の乾燥不足、治具や樹脂部品が吸湿してる
対策：開放〜組立の段取り短縮、乾燥保管、乾燥ガス戻し。できる範囲で“水を入れない”が一番効きます。
原因B：粗引き系が弱い（バックポンプ・ラインの問題）
- 粗引きポンプの油が劣化、水分抱え込み、温度上昇
- フォアライントラップやフィルタが詰まっている
- バルブが完全に開いていない／配管が細く長い
対策：バックポンプの状態点検、詰まり部品の清掃/交換、配管の見直し（太く短く）。ここ、直すと露骨に効きます。
原因C：途中で中断・ショートカットしてる
- 「時間がないから途中で復帰」→ 次回がもっと長くなる
- 冷却/復帰条件が曖昧で、毎回ぶれる
対策：再生は“完走”が基本。復帰条件もログ化して、誰がやっても同じに寄せます。
再生後の“合格判定”を決めておく（ここが地味に大事）
- ベース圧の到達（どの圧力域まで、どの時間で、を目安化）
- 圧の安定性（放置でジワっと上がるなら、水やリークの疑い）
- 必要なら簡易リーク確認（装置ルールの範囲で）
- 再生ログ（いつ、どんな条件、どのくらい時間）を残す
ログがあると、「今回は長い」の原因が追えるんで、改善が回り出します。逆にログがないと、毎回“勘”になります。
まとめ：クライオ再生は「水」と「粗引き系」で8割決まる
クライオ再生が長い・戻らない時は、だいたいこの2つが主犯です。
- 水を入れすぎてる（開放・洗浄・保管・戻しガス）
- 吐き出したガスを抜けてない（バックポンプ・フォアライン・詰まり）
「どこが詰まってそう？」って切り分けは、構成（バルブ、粗引き系、配管、運用手順）と症状が分かれば、かなり現実的に整理できます。必要なら、現場の構成に合わせて“再生手順の叩き台（SOP）”も作りますよ。
“うちでもできる？”と思ったら、まずは聞いてみてください！
