こんにちは。今回は「真空装置のリニューアルやアップグレード」について、実際の事例や現場でよくあるお悩みを交えてお話しします。
最近、「装置を新しく買い替えるのは難しいけど、どうにか今のを延命できないか？」という相談がすごく増えてきました。特に半導体製造や試験装置のような真空機器は、導入当初から10年以上経っていても現役で使われているケースが多いですよね。
ただ、調子が悪くなったり、部品供給が止まったりすると、急に装置の稼働が止まってしまう。そんなときに、フランジ交換や配管再設計、溶接補修といった対応で延命できれば、コストも抑えられますし、現場への影響も最小限にできます。
リニューアル・アップグレードが必要になる装置とは？
いまお使いの真空装置で、こんな状況ありませんか？
- 製造から10年以上経過している
- 一部のフランジやパッキンが変形・劣化している
- ポンプやセンサーは替えたけど、配管がそのまま
- 昔のJIS規格や独自形状の部品がついている
こういった場合、装置全体を入れ替えるのではなく、必要な部分だけをカスタマイズ・修理することで、十分延命できるケースが多いんです。
実際のリニューアル対応事例
事例1：古いICF152フランジを再設計して気密性向上
30年以上前の装置で、ICF152サイズのフランジ座面が変形してリークが発生。メタルガスケットの収まりも悪かったため、フランジを新設計して交換。リーク検査もHELIOTで実施し、安定運用に戻りました。
事例2：Oリング仕様をメタルガスケットへ変更
脱ガスや微粒子管理の観点から、Oリングでシールしていた箇所をICF＋メタルガスケット方式へ切替。あわせて座面の面粗度調整や表面洗浄処理も実施し、半導体製造装置の規格に対応。
事例3：配管経路を短縮し、流速と排気効率を改善
新旧ポンプを混在させた装置で、配管径や経路の違いがボトルネックになっていた。レイアウトを見直し、配管を最短経路化。排気時間が2割以上短縮されました。
どんな改修ができるの？
以下のような改造やアップグレードが可能です：
- ICFフランジの追加・移設・サイズ変更
- Oリングの再溝加工、座面修正
- 真空配管の溶接補修・リーク対策
- 材質変更（アルミ→SUS／SUS304→SUS316など）
- 薬品対応・耐熱対応などの仕様変更
図面がなくても対応できます
古い装置や、OEM品の場合、「図面が手元にない」「昔の担当者がいない」といったケースも少なくありません。当社では：
- 現物採寸・寸法スケッチからの図面起こし
- 部品現物からのリバースエンジニアリング
- 部品単体の作り直し、取付部再現、材質変更まで対応
もちろん、リーク検査や組立後の真空性能チェックも行います。
さいごに：装置は活かして使う時代へ
真空装置のリニューアルや部分的なアップグレードは、「壊れるまで使う」のではなく、「壊れる前に整える」考え方に変えていくことが大切です。
今ある設備を活かしつつ、必要なところだけをアップデートすることで、コストを抑えながら性能を保つことができます。
図面がなくても、情報が不完全でもオッケー構いません。気になるところがあれば、まずはご相談してほしいです。
最後までお読みいただきありがとうございました！
