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2025.10.12
High-NA時代のUHVチャンバー設計チェックリスト
どうも、装置まわりが長いおじさんです。High-NAのEUVだなんだと騒がしい昨今、「とにかく真空の“質”を落とさない」ってのが合言葉みたいになってますよね。今日は、超高真空(UHV)チャンバーを組むときに、現場...
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